西北大学主页平台管理系统陈诚--中文主页-- Blue-violet emission of silicon carbonitride thin films prepared by sputtering and annealing treatment

Blue-violet emission of silicon carbonitride thin films prepared by sputtering and annealing treatment: 点击次数：; 影响因子：6.7; DOI码：10.1016/j.apsusc.2021.149121; 所属单位：西北大学；荷语布鲁塞尔自由大学（VUB）；欧洲微电子中心（IMEC）; 发表刊物：Applied Surface Science; 刊物所在地：荷兰; 关键字：SiCN film；Annealing；Microstructure；Photoluminescence；Sputtering；Optoelectronics; 备注：第一作者，SCI检索，中科院一区，TOP期刊。; 论文类型：期刊论文; 论文编号：10.1016/j.apsusc.2021.149121; 学科门类：工学; 一级学科：电子科学与技术; 文献类型：J; 卷号：546; 页面范围：149121-149126; 字数：6666; 是否译文：否; 收录刊物：SCI; 发布期刊链接：https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.149121; 第一作者：Qiang Li; 第一作者：Cheng Chen; 通讯作者：Wu Zhao; 合写作者：Manzhang Xu; 合写作者：Yingnan Wang; 合写作者：Xuewen Wang; 合写作者：Zhiyong Zhang; 合写作者：Johan Stiens

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