Blue-violet emission of silicon carbonitride thin films prepared by sputtering and annealing treatment
- 影响因子：6.7
- DOI码：10.1016/j.apsusc.2021.149121
- 所属单位：西北大学；荷语布鲁塞尔自由大学（VUB）；欧洲微电子中心（IMEC）
- 发表刊物：Applied Surface Science
- 刊物所在地：荷兰
- 关键字：SiCN film；Annealing；Microstructure；Photoluminescence；Sputtering；Optoelectronics
- 备注：第一作者，SCI检索，中科院一区，TOP期刊。
- 论文类型：期刊论文
- 论文编号：10.1016/j.apsusc.2021.149121
- 学科门类：工学
- 一级学科：电子科学与技术
- 文献类型：J
- 卷号：546
- 页面范围：149121-149126
- 字数：6666
- 是否译文：否
- 发表时间：2021-04-30
- 收录刊物：SCI
- 发布期刊链接：https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.149121
- 第一作者：Qiang Li
- 第一作者：Cheng Chen
- 通讯作者：Wu Zhao
- 合写作者：Manzhang Xu
- 合写作者：Yingnan Wang
- 合写作者：Xuewen Wang
- 合写作者：Zhiyong Zhang
- 合写作者：Johan Stiens
