Blue-violet emission of silicon carbonitride thin films prepared by sputtering and annealing treatment
发布时间：2023-08-24 点击次数：
影响因子：6.7
DOI码：10.1016/j.apsusc.2021.149121
所属单位：西北大学；荷语布鲁塞尔自由大学（VUB）；欧洲微电子中心（IMEC）
发表刊物：Applied Surface Science
刊物所在地：荷兰
关键字：SiCN film；Annealing；Microstructure；Photoluminescence；Sputtering；Optoelectronics
备注：第一作者，SCI检索，中科院一区，TOP期刊。
论文类型：期刊论文
论文编号：10.1016/j.apsusc.2021.149121
学科门类：工学
一级学科：电子科学与技术
文献类型：J
卷号：546
页面范围：149121-149126
字数：6666
是否译文：否
发表时间：2021-04-30
收录刊物：SCI
发布期刊链接：https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.149121
第一作者：Qiang Li
第一作者：Cheng Chen
通讯作者：Wu Zhao
合写作者：Manzhang Xu
合写作者：Yingnan Wang
合写作者：Xuewen Wang
合写作者：Zhiyong Zhang
合写作者：Johan Stiens