A new exploration of quality testing technique for the wafer-scale graphene film based on the terahertz vector network analysis technology
发布时间：2023-08-14 点击次数：
影响因子：6.7
DOI码：10.1016/j.apsusc.2023.156498
所属单位：西北大学；荷语布鲁塞尔自由大学（VUB）；欧洲微电子中心（IMEC）
发表刊物：Applied Surface Science
刊物所在地：荷兰
关键字：Quality testing；Homogeneity；Anisotropy；Terahertz vector network analyzer；Graphene film
备注：第一作者，SCI检索，中科院一区，TOP期刊。
论文类型：期刊论文
论文编号：10.1016/j.apsusc.2023.156498
学科门类：工学
一级学科：电子科学与技术
文献类型：J
卷号：616
页面范围：156498-156511
字数：15666
是否译文：否
发表时间：2023-01-20
收录刊物：SCI
发布期刊链接：https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.156498
第一作者：Cheng Chen
通讯作者：Zhiyong Zhang
通讯作者：Johan Stiens
合写作者：Ali Pourkazemi
合写作者：Wu Zhao
合写作者：Niko Van den Brande
合写作者：Tom Hauffman