A new exploration of quality testing technique for the wafer-scale graphene film based on the terahertz vector network analysis technology
- 影响因子:6.7
- DOI码:10.1016/j.apsusc.2023.156498
- 所属单位:西北大学;荷语布鲁塞尔自由大学(VUB);欧洲微电子中心(IMEC)
- 发表刊物:Applied Surface Science
- 刊物所在地:荷兰
- 关键字:Quality testing;Homogeneity;Anisotropy;Terahertz vector network analyzer;Graphene film
- 备注:第一作者,SCI检索,中科院一区,TOP期刊。
- 论文类型:期刊论文
- 论文编号:10.1016/j.apsusc.2023.156498
- 学科门类:工学
- 一级学科:电子科学与技术
- 文献类型:J
- 卷号:616
- 页面范围:156498-156511
- 字数:15666
- 是否译文:否
- 发表时间:2023-01-20
- 收录刊物:SCI
- 发布期刊链接:https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.156498
- 第一作者:Cheng Chen
- 通讯作者:Zhiyong Zhang
- 通讯作者:Johan Stiens
- 合写作者:Ali Pourkazemi
- 合写作者:Wu Zhao
- 合写作者:Niko Van den Brande
- 合写作者:Tom Hauffman